热处理对湿法制备ITO薄膜性能的影响

doi:10.13251/j.issn.0254-6051.2015.02.031

金属热处理

热处理对湿法制备ITO薄膜性能的影响

天津大学化工学院绿色合成与转化教育部重点试验室

出版日期:2015-03-02 发布日期:2015-03-09
基金资助:
国家科技计划项目（2012BAF13B05）

Influence of heat treatment on properties of ITO films prepared by wet process

Key Laboratory for Green Chemical Technology of Ministry of Education, School of Chemical Engineering and Technology, Tianjin University

Online:2015-03-02 Published:2015-03-09

摘要/Abstract

摘要： 用湿法涂布的方式制备了ITO透明导电膜，考察了不同热处理条件对ITO薄膜性能的影响。结果表明，随着热处理温度的升高，ITO薄膜的导电性和透光性均逐渐增强；随着热处理时间的延长，ITO透明导电膜的电阻率表现出先增强后减弱的趋势，透光率随着热处理时间的延长而增强到某一程度后，继续延长热处理时间其透光率保持不变；真空环境有利于提高ITO透明导电膜的导电性。

关键词: ITO透明导电膜, 湿法, 热处理, 导电性, 透光性

Key words: ITO transparent conductive films, wet process, heat treatment, conductivity, transmittance

中图分类号:

TG113.3

杨鑫. 热处理对湿法制备ITO薄膜性能的影响[J]. 金属热处理, doi: 10.13251/j.issn.0254-6051.2015.02.031.

Yang Xin. Influence of heat treatment on properties of ITO films prepared by wet process[J]. HTM, doi: 10.13251/j.issn.0254-6051.2015.02.031.

[1]	李立, 曾艳, 吴晓春. 4Cr5Mo2VCo钢的热处理工艺优化[J]. 金属热处理, 2022, 47(4): 133-140.
[2]	王方军, 王东哲, 万红, 时瑶, 沈涛. 热处理和冷变形量对定膨胀合金4J32C线膨胀系数的影响[J]. 金属热处理, 2022, 47(4): 199-203.
[3]	王绍灼, 孟晗, 王芬, 樊海卫, 李燕, 唐超. 改善低氧TC4-LC及重熔TC4钛合金性能的热处理工艺[J]. 金属热处理, 2022, 47(4): 204-207.
[4]	苏勇, 王帅, 王吉星, 于兴福, 刘洪秀, 刘金玲. 复合化学热处理对G13Cr4Mo4Ni4V钢组织和硬度的影响[J]. 金属热处理, 2022, 47(4): 226-230.
[5]	王敬元, 吴松全, 张博华, 辛社伟, 杨义, 王皞, 黄爱军. 固溶时效处理对BT25y钛合金显微组织及硬度的影响[J]. 金属热处理, 2022, 47(3): 14-19.
[6]	樊洋, 杨明华, 陈凯敏, 孙丙岩. 焊后热处理对31CrMoV9钢电子束焊接接头组织及性能的影响[J]. 金属热处理, 2022, 47(3): 57-60.
[7]	陈善勇, 王快社, 乔柯, 王文. 碱热处理对搅拌摩擦加工AZ31镁合金耐腐蚀性能的影响[J]. 金属热处理, 2022, 47(3): 61-66.
[8]	冯锐, 李利连, 帖锦芳, 侯嘉强, 米奕媛. 高温形变热处理对20CrMnTiH钢锻件组织及性能的影响[J]. 金属热处理, 2022, 47(3): 72-76.
[9]	方秀荣, 刘留, 徐慧慧, 高扬. 渗碳前预热处理对17CrNiMo6钢制齿轮轴畸变的影响[J]. 金属热处理, 2022, 47(3): 113-118.
[10]	张颖, 王浩军, 陈素明, 胡广, 欧阳德来, 崔霞, 胡生双. 热处理对激光立体成形TB18钛合金组织和力学性能的影响[J]. 金属热处理, 2022, 47(3): 124-129.
[11]	海侠女, 杨扬, 黄太伟, 范王展, 桂伟民, 何亮亮. 淬透性细化分级8620H钢的热处理性能研究[J]. 金属热处理, 2022, 47(3): 155-158.
[12]	龙亮, 胡齐贤, 罗云, 郑红祥, 王玉杰. 大型焊接容器局部热处理防畸变工装优化设计[J]. 金属热处理, 2022, 47(3): 234-238.
[13]	崔鼎, 车永平. 带内花键零件的畸变控制方法[J]. 金属热处理, 2022, 47(3): 252-256.
[14]	董瑞, 陈林, 岑耀东, 包喜荣. 不同热处理条件下贝氏体钢的微观组织和疲劳裂纹扩展[J]. 金属热处理, 2022, 47(2): 153-158.
[15]	禹鑫磊, 郑小平, 曹通, 田亚强, 陈连生. 等温温度对轧制SIMA法制备7075合金半固态显微组织的影响[J]. 金属热处理, 2022, 47(2): 164-167.

热处理对湿法制备ITO薄膜性能的影响

Influence of heat treatment on properties of ITO films prepared by wet process

PDF

可视化

摘要/Abstract

引用本文

使用本文

参考文献

相关文章 15

编辑推荐

Metrics

本文评价