不同碳含量掺杂对多弧离子镀CrN涂层摩擦学性能的影响
- 1. 昆明理工大学 材料科学与工程学院；2. 昆明理工大学 分析测试中心；3. 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Effect of carbon content on tribological performance of CrCN coating by multi-arc ion deposition
- 1. Faculty of Materials Science and Engineering, Kunming University of Science and Technology; 2. Research Center for Analysis and Measurement, Kunming University of Science and Technology; 3. Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences
摘要： 采用多弧离子镀技术在304不锈钢和单晶硅片上沉积CrCN涂层，通过改变乙炔流量(20~60 sccm)来控制涂层中的碳含量，利用SEM、XRD、XPS、纳米压痕仪、划痕测试仪及摩擦磨损试验对涂层的微观结构及性能进行了对比研究，分析了不同碳元素的含量对涂层组成及性能的影响。结果表明，随着碳含量的增加，各衍射峰整体呈现出下降趋势，涂层由晶态向非晶态转变，化学成分出现明显变化；当乙炔流量为40 sccm时，硬度、弹性模量和结合力达到最高，分别为25 GPa、345 GPa及77 N。与此同时，随着乙炔流量的增加，涂层的摩擦因数及磨损率呈现出先递减后递增的趋势，在乙炔流量为40 sccm时达到最低，涂层表现出较优异的摩擦学性能。
中图分类号: