金属热处理

• 工艺研究 • 上一篇    下一篇

溅射镀膜用钛靶材制备工艺研究

  

  1. 西部钛业有限责任公司
  • 出版日期:2014-12-25 发布日期:2014-12-31

Research on preparation process of titanium target used for sputtering and coating

  1. Western Titanium Technologies Co., Ltd.
  • Online:2014-12-25 Published:2014-12-31

摘要: 比较了真空自耗电弧炉熔炼+锻造法及电子束熔炼法所制得钛板坯的组织均匀性,同时对不同温度退火后板材的组织性能进行了研究。结果表明,采用此法制得的板坯组织均匀,经轧制及700 ℃保温30 min,空冷退火后,晶粒尺寸和性能配合良好,均满足靶材用钛板要求。

关键词: 钛靶材, 制备工艺, 退火, 组织

Key words: Ti target, preparation process, annealing, microstructure

中图分类号: