TiN/TiSiN多层膜高温微动磨损特性

doi:10.13251/j.issn.0254-6051.2015.02.017

金属热处理

TiN/TiSiN多层膜高温微动磨损特性

1. 西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室；2. 西南交通大学机械工程学院；3. 成都工具研究所

出版日期:2015-03-02 发布日期:2015-03-09
基金资助:
国家自然科学基金（51075342）；国家重大专项课题“高性能PVD/PCVD刀具涂层技术与装备开发”（2012ZX04003001）

Fretting wear behavior of TiN/TiSiN multiplayer films at elevated temperature

1. Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education, Southwest Jiaotong University; 2. School of Mechanical Engineering, Southwest Jiaotong University; 3. Chengdu Tool Research Institute

Online:2015-03-02 Published:2015-03-09

摘要/Abstract

摘要： 采用高精度PLINT高温微动磨损试验机研究了690合金及其表面等离子体化学气相沉积(PCVD)制备TiN/TiSiN多层膜的高温微动磨损特性。结果表明，试验温度（25、200、300 ℃）下TiN/TiSiN多层膜XRD未检测出氧化物，TiN/TiSiN多层膜的硬度和临界载荷分别为2318 HV0.05、57 N。690合金在200 ℃时的摩擦系数、磨损体积均高于室温和300 ℃下的值。TiN/TiSiN多层膜的摩擦系数在200 ℃时最大，在室温时最低；TiN/TiSiN多层膜磨损体积受温度影响较小。相同试验条件下，TiN/TiSiN多层膜摩擦系数和磨损体积均低于690合金，TiN/TiSiN多层膜能有效减低基材的微动损伤。室温时，690合金磨损机制为磨粒磨损和剥层；200 ℃时为磨粒磨损、剥层和氧化磨损；300 ℃时为磨粒磨损和氧化磨损。试验温度下，TiN/TiSiN多层膜的磨损机制均为剥层。

关键词: 微动磨损, 690合金, TiN/TiSiN多层膜, 等离子体化学气相沉积（PCVD）, 高温

Key words: fretting wear, 690 alloy, TiN/TiSiN multiplayer films, Plasma Chemical Vapor Deposition(PCVD), high temperature

中图分类号:

TB43
TH117.1

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