TiCrAlSiCN薄膜微观结构与性能

doi:10.13251/j.issn.0254-6051.2016.11.004

金属热处理

TiCrAlSiCN薄膜微观结构与性能

西安热工研究院有限公司

出版日期:2016-11-25 发布日期:2016-12-12

Microstructure and properties of TiCrAlSiCN coating

Xi’an Thermal Power Research Institute Co., Ltd

Online:2016-11-25 Published:2016-12-12

摘要/Abstract

摘要： 采用工业化多弧离子镀在H13钢表面制备高硬度、高结合强度和低摩擦耐磨的TiCrAlSiCN硬质薄膜，以便改善H13钢的力学和摩擦学性能。借助扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱仪、透射电子显微镜、维氏显微硬度计、膜划痕试验法、摩擦磨损仪对TiCrAlSiCN薄膜的结构特征、力学性能和摩擦磨损性能进行测试与分析。结果表明，TiCrAlSiCN薄膜结构为纳米晶/非晶复合结构。高Si含量的TiCrAlSiCN薄膜200晶面呈择优取向、硬度为3934 HV0.01和2536 HV0.025、摩擦因数为0.65、磨损率为7.36×10-6 mm3·N-1·m-1、膜基结合力为62.4 N。随Si含量降低，Cr和C含量增大，薄膜无明显的择优取向，开始向各向同性转变，硬度为3613 HV0.01和2815 HV0.025、摩擦因数为0.48、磨损率为7.28×10-6 mm3·N-1·m-1、膜基结合力为68.2 N。低Si含量TiCrAlSiCN薄膜力学和摩擦学性能优异。

关键词: TiCrAlSiCN, 复合结构, 硬度, 韧性, 结合强度, 磨损率, 摩擦因数

Key words: TiCrAlSiCN, composite structure, hardness, toughness, bonding strength, wear rate, friction coefficient

中图分类号:

TG174.44

郭岩，李太江，李巍，王彩侠. TiCrAlSiCN薄膜微观结构与性能[J]. 金属热处理, doi: 10.13251/j.issn.0254-6051.2016.11.004.

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