直流辉光等离子体的边缘效应

doi:10.13251/j.issn.0254-6051.2016.06.020

金属热处理

直流辉光等离子体的边缘效应

1. 核工业西南物理研究院； 2. 南华大学电气工程学院； 3. 四川材料与工艺研究所

出版日期:2016-06-25 发布日期:2016-07-04
基金资助:
ITER计划国内配套专项课题（2013GB110006）；国家自然科学基金（11305054，11305055）

Edge effect of DC glow?discharge plasma

1. Southwestern Institute of Physics； 2. College of Electrical Engineering, University of South China； 3. Sichuan Institute of Materials and Technology

Online:2016-06-25 Published:2016-07-04

摘要/Abstract

摘要： 结合辉光渗氮试验结果，对直流辉光等离子体材料处理中的边缘效应进行了研究，根据相关鞘层理论，对工件边角处及其附近的鞘层厚度S、电场强度E及离子密度n进行了定性分析。结果表明：在边缘效应范围d内，当远离边角时，S将变大、E及n变小。主等离子体密度n0的减少将使边缘效应的影响范围d变大，因此降低工作气压P及电流I可减弱边缘效应。采用改进措施渗氮后，工件边缘效应得到抑制，且渗氮效果较好。

关键词: 边缘效应, 直流辉光, 鞘层理论, 辉光渗氮

Key words: Edge effect, DC glow?discharge plasma, sheath theory, ion nitriding

中图分类号:

TG156.8

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直流辉光等离子体的边缘效应

Edge effect of DC glow?discharge plasma

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