高纯铜靶材微观组织与取向的EBSD分析

doi:10.13251/j.issn.0254-6051.2020.01.039

金属热处理 ›› 2020, Vol. 45 ›› Issue (1): 199-202.DOI: 10.13251/j.issn.0254-6051.2020.01.039

高纯铜靶材微观组织与取向的EBSD分析

张丽民¹, 张智慧², 左玉婷¹, 王书明¹, 杜风贞¹

1. 国标北京检验认证有限公司, 北京 101407;
2. 国合通用测试评价认证股份公司, 北京 101407

收稿日期:2019-06-19 出版日期:2020-01-25 发布日期:2020-04-03
作者简介:张丽民(1979—),女,高级工程师,博士,主要研究方向:金属材料组织结构的表征与分析,已发表论文30余篇,联系电话:010-822241375,E-mail:zhanglimin@gbtcgroup.com。
基金资助:
国家重点研发计划(2017YFB0305500)

EBSD analysis on microstructure and orientation of high purity copper targets

Zhang Limin¹, Zhang Zhihui², Zuo Yuting¹, Wang Shuming¹, Du Fengzhen¹

1. Guobiao Beijing Testing & Certification Co., Ltd., Beijing 101407, China;
2. China United Test & Certification Co., Ltd., Beijing 101407, China

Received:2019-06-19 Online:2020-01-25 Published:2020-04-03

摘要/Abstract

摘要： 将99.99%的高纯铜靶材进行了600 ℃、55%变形量的热轧,并分别在280、300和320 ℃退火2 h;采用EBSD技术对不同退火温度高纯铜靶材的晶粒尺寸、取向分布和孪晶等的演变进行了研究。结果表明:在600 ℃进行轧制,晶粒可充分破碎,相对于280 ℃退火,320 ℃退火的晶粒更为均匀,其孪晶含量降低了14%;轧制过程中,高纯铜易于形成＜311＞取向,随退火温度从280 ℃升高到320 ℃,＜311＞取向逐渐降低,＜110＞取向呈现出增强的趋势。说明320 ℃退火有利于得到均匀细小的晶粒、较低的孪晶含量和趋于一致的取向分布。

关键词: 高纯铜靶, 微观组织, 晶粒尺寸, 取向, 孪晶

Abstract: The 99.99% high purity copper target was hot rolled at 600 ℃ with 55% deformation and annealed at 280, 300 and 320 ℃ for 2 h, respectively. The evolution of grain size, orientation distribution and twins of the high purity copper target at different annealing temperatures were studied by EBSD technique. The results show that the large grains in the copper target are fully broken by rolled at 600 ℃. The annealing at 320 ℃ leads to more uniform grains and less twin content by 14% than that at 280 ℃. The <311> orientation of the high purity copper target can form easily during rolling, and tends to decrease when the annealing temperature rising from 280 ℃ to 320 ℃, while the<110> orientation tends to increase. Therefore, the 320 ℃ annealing temperature is beneficial to obtain uniform and fine grains, a lower twin content and uniform orientation distribution.

Key words: high purity copper target, microstructure, grain size, texture, twin

中图分类号:

TB304

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Zhang Limin, Zhang Zhihui, Zuo Yuting, Wang Shuming, Du Fengzhen. EBSD analysis on microstructure and orientation of high purity copper targets[J]. HTM, 2020, 45(1): 199-202.

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EBSD analysis on microstructure and orientation of high purity copper targets

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