氮气流量对(Ti,Al,Si,Cr)N超硬薄膜的结构与性能的影响

金属热处理 ›› 2014, Vol. 39 ›› Issue (2): 65-68.

氮气流量对(Ti,Al,Si,Cr)N超硬薄膜的结构与性能的影响

四川大学材料科学与工程学院

出版日期:2014-02-25 发布日期:2014-04-22
基金资助:
国家自然科学基金（51275323）

Effect of nitrogen flow on microstructure and mechanical properties of (Ti, Al, Si, Cr)N superhard film

College of Materials Science and Engineering, Sichuan University

Online:2014-02-25 Published:2014-04-22

摘要/Abstract

摘要： 采用等离子增强磁控溅射技术（PEMC）在YG8硬质合金表面制备了(Ti, Al, Si, Cr)N超硬膜，研究了N₂流量对膜层结构、成分、形态特征与性能的影响。试验结果表明，所得薄膜为面心立方结构，随N₂流量增加，薄膜的晶体学取向由（111）晶面向（200）晶面转变。薄膜表面呈现柱状晶形态，N₂流量为70 sccm时，柱状晶尺寸最小，粗糙度最低。所得薄膜的硬度随N₂流量的增加先增大后减小，N₂流量为70 sccm时，达到最大值35.70 GPa。

关键词: 磁控溅射, (Ti, Al, Si, Cr)N膜, 超硬膜, N2流量

Key words: magnetron sputtering, (Ti, Al, Si, Cr)N film, superhard film, nitrogen flow

中图分类号:

TG148

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