微球结构MoS2/FeS复合薄膜的制备及表征

doi:10.13251/j.issn.0254-6051.2015.10.006

金属热处理

微球结构MoS₂/FeS复合薄膜的制备及表征

1. 南通职业大学汽车与交通工程学院；2. 南京工程学院材料工程学院

出版日期:2015-10-26 发布日期:2015-11-11
基金资助:
国家自然科学基金(51205183)；江苏省自然科学基金(BK2012475)

Preparation and characterization of microsphere-structured MoS₂/FeS composite thin film

1. School of Automobile and Transportation, Nantong Vocational University; 2. School of Materials Engineering, Nanjing Institute of Technology

Online:2015-10-26 Published:2015-11-11

摘要/Abstract

摘要： 采用离子注入结合低温离子渗硫法制备了MoS₂/FeS复合薄膜，并借助扫描电子显微镜、X射线光电子能谱仪和纳米压痕仪对复合薄膜进行了表征。结果表明，复合薄膜呈微球结构，颗粒尺寸均匀，约为500 nm。复合薄膜主要由MoS₂、FeS及少量的氧化物组成。基体与复合薄膜的硬度分别为6.57和7.89 GPa，弹性模量分别为223.8和246.2 GPa。相对基体复合薄膜的硬度及弹性模量分别提高约20%和10%，弹性特征值H/E亦相应提高了约10%，表明其较基体具有更高的磨损抗力。

关键词: 离子注入, MoS₂/FeS复合膜, 制备

Key words: ion implantation, MoS₂/FeS composite film, preparation

中图分类号:

TH117.2

陆琼晔1，张保森2，朱帅帅2，周衡志2. 微球结构MoS₂/FeS复合薄膜的制备及表征[J]. 金属热处理, doi: 10.13251/j.issn.0254-6051.2015.10.006.

Lu Qiongye1, Zhang Baosen2, Zhu Shuaishuai2, Zhou Hengzhi2. Preparation and characterization of microsphere-structured MoS₂/FeS composite thin film[J]. HTM, doi: 10.13251/j.issn.0254-6051.2015.10.006.

微球结构MoS₂/FeS复合薄膜的制备及表征

Preparation and characterization of microsphere-structured MoS₂/FeS composite thin film

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