热处理对Fe84Ga16合金薄膜中内应力的影响

doi:10.13251/j.issn.0254-6051.2015.04.020

金属热处理

热处理对Fe₈₄Ga₁₆合金薄膜中内应力的影响

1. 江西省精密驱动与控制重点实验室；2. 南昌工程学院微纳驱动与控制研究所；3. 南昌航空大学航空制造工程学院

出版日期:2015-04-25 发布日期:2015-04-29
基金资助:
国家自然科学基金（51161019）；江西省科技厅科技支撑计划（20133BBE50011）；江西省科技厅对外合作（20141BDH80025）；江西省教育厅落地计划（KJLD14096）

Influence of heat treatment on internal stress of Fe₈₄Ga₁₆ alloy film

1. Jiangxi Province Key Laboratory of Precision Drive and Control; 2.Institute of Micro/Nano Actuation and Control, Nanchang Institute of Technology; 3.School of Aeronautical Manufacturing Engineering, Nanchang Hangkong University

Online:2015-04-25 Published:2015-04-29

摘要/Abstract

摘要： 采用磁控溅射技术制备了Fe₈₄Ga₁₆薄膜并进行了退火处理，用SEM 和XRD研究了薄膜的显微结构和内应力，计算了溅射态和退火态薄膜的内应力。结果发现，溅射态和退火态薄膜都以A₂相存在，并随着退火温度的升高，择优取向变得愈加不明显。与退火后的薄膜相比，溅射态薄膜内应力更大，且为压应力。低温退火后，薄膜内应力有一定程度的减小，随着退火温度的升高，薄膜内应力又逐渐回升，但回升的幅度不大。

关键词: Fe-Ga合金薄膜, 磁控溅射, 退火, 显微结构, 内应力

Key words: Fe-Ga alloy film, magnetron sputtering, annealing, microstructure, internal stress

中图分类号:

TG156

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Yan Jianwu1,2，Peng Afang1,2，Luo Liang3, Cao Qinghua1，Zhang Liling1. Influence of heat treatment on internal stress of Fe₈₄Ga₁₆ alloy film[J]. HTM, doi: 10.13251/j.issn.0254-6051.2015.04.020.

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热处理对Fe₈₄Ga₁₆合金薄膜中内应力的影响

Influence of heat treatment on internal stress of Fe₈₄Ga₁₆ alloy film

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